Zpět
Depoziční systém HVM Flexilab
Depoziční systém Flexilab je laboratorní depoziční systém pro přípravu tenkých vrstev metodou magnetronového naprašování. I přes své kompaktní rozměry nabízí širokou škálu depozičních parametrů, díky čemuž je systém velmi univerzální pro výzkum a vývoj tenkých vrstev další generace. Tenké vrstvy je možné v průběhu depozice vyhřát až na 800 stupňů Celsia a kromě konvenčního DC naprašování je možné použít RF nebo pulzní buzení katod, dokonce i HiPIMS. Flexilab vyvinula společnost HVM Plasma spol. s.r.o. sídlící v Praze.
