Laboratoř PVD technologií

Depoziční systém Alcatel byl osazen novou katodou od HVM Plasma. Jedná se o planární obdélníkovou katodu s terčem z titanu. Díky tomuto tvaru je možné zachytit opticko-emisní signál z většího objemu plazmatu což vede k výraznější samoabsorpci emitovaného záření.

Nová katoda bude využita k diagnostice reaktivního HiPIMS procesu pomocí samoabsorpční EBF metody pro určení koncentrací částic v plazmatu.