Laboratoř PVD technologií

V únoru 2020 se v Praze konal Workshop on Plasma-Based Synthesis of Nanomaterials, což je satelitní workshop k 17th International Conference on Plasma Surface Engineering. V rámci tohoto workshopu přednesl Petr Vašina přednášku o diagnostice HiPIMS výboje. Pavel Souček ve své prezentaci mluvil o tvrdých a houževnatých vrstvách na bázi kovu, bóru a uhlíku. Další členové týmu měli příspěvky formou čtyř posterů o diagnostice depozičního plazmatu. 

Přednášky:  

• P. Vašina: Evolution of ionization fraction of sputtered species in standard, multi-pulse and reactive HiPIMS
• P. Souček: W-B-C Coatings Prepared by Magnetron Sputtering Utilizing Pulsed Plasma Excitation

Postery:

• J. Hnilica: Sputtered titanium species dynamics in HiPIMS
• P. Klein: Behaviour of spokes in reactive HiPIMS
• M. Fekete: Ionised density fraction of sputtered species in HiPIMS discharge excited in argon/acetylene gas mixture
• K. Bernátová: Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS