Zpět na vybavení


Semion RFEA systém

  • Výrobce: Impedans Plasma Measurement, Irsko
  • Model: jednoduchý sensor
  • Kompatibilní druhy plasmy: dc, p-dc, RF, p-RF, microwave, HiPIMS
  • Časové rozlišení: 1 µs
  • Energiové rozlišení: 1 eV
  • Napěťový skenovací rozsah: ± 2000 V
  • Maximální operační teplota: 150°C